수직 경사 응고법 (VGF)

VGF 시스템은 광전자공학(LED 및 레이저 시스템), 반도체 기술에 사용되는 갈륨-비소(GaAs), 인듐-인화물(InP) 및 갈륨-인화물(GaP) 결정뿐만 아니라 결함 밀도가 최소인 단결정 화합물 반도체 결정을 생산하도록 설계되었습니다. , 고주파 기술, 태양광 기술 및 통신 기술. 이 방법은 "방향성 응고" 또는 유사한 형태로 "Bridgman 방법"으로도 알려져 있습니다. 이 방법은 R&D 부문에서도 사용됩니다.

공정

저항 히터를 사용하여 다결정 원료를 베이스에 시드 결정이 있는 도가니에서 가열하여 녹입니다. 온도 영역은 원료가 도가니에서 먼저 녹도록 설정됩니다. 시드 결정도 부분적으로 녹습니다. 그런 다음 온도 영역은 도가니에 대해 상대적으로 이동합니다. 이는 도가니 또는 히터를 기계적인 방법으로 이동하거나 다양한 히터 소자를 제어하여 온도 영역을 변경하여 수행할 수 있습니다. 초기에 하부 영역에서 용융물의 점진적인 냉각은 용융물이 동결됨에 따라 도가니에서 결정 성장을 시작합니다. 가열된 영역이 천천히 위쪽으로 이동하므로 응고선도 천천히 위쪽으로 이동합니다. 결정화 속도는 온도 영역이 얼마나 빨리 이동하는지에 따라 다릅니다.

이 방법을 사용하면 비화갈륨(GaAs), 인화인듐(InP) 및 인화갈륨(GaP)과 같은 결정을 생산할 수 있습니다. 이 결정은 광전자공학(LED 및 레이저 시스템), 반도체 기술, 고주파 기술, 태양광 기술 및 통신 기술에 사용됩니다.

애플리케이션

당사의 모듈식 "Kronos" 시스템은 산업 회사가 GaAs, InP, 게르마늄 및 CaF2와 같은 생산성이 높은 화합물 반도체 결정을 육성하는 데 도움이 됩니다.
MultiCrystallizer는 태양광 산업을 위한 다결정 잉곳 생산을 가능하게 합니다.

 

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