레이져 측정 장비

SIRD(Scanning InfraRed Depolarization) 시스템은 전송 다크 필드 평면 극성 망원경입니다.

장비를 사용할 때 고정 위치의 선형 편광 레이저 빔이 검사 대상 웨이퍼를 통과합니다. 그것의 결정 구조가 완벽하고 응력이 없다면, 레이저 빔의 편광은 변하지 않습니다. 그러나, 결정 내에 전단 응력이나 결함이 있는 경우, 레이저 빔은 응력에 의한 복굴절에 의한 탈분극이 일어납니다.

간단히 보기:

• SIRD는 레코드 플레이어와 유사한 방식으로 작동합니다. 웨이퍼가 회전 테이블에서 회전하며 반경 방향으로 간헐적으로 또는 연속적으로(스파이럴 모드) 이동합니다.
• 데이터는 사전 설정된 측정 프로토콜에 따라 기록됩니다. 최소 및 최대 반지름은 각각 자유롭게 선택할 수 있습니다.
• 측정 시간은 선택한 횡방향 분해능(≥50µm)과 스캔 속도(최대 약 1 cm² s⁻¹))에 따라 결정됩니다.
• 가장 중요한 측정 결과는 탈분극 및 전달의 지도입니다.

SIRD는 교대 리타더 탈분극(ARD) 원칙에 따라 작동합니다. 이는 복굴절에 의해 야기되지 않는 탈분극 성분을 판별할 수 있으며 그 결과, 가장 작은 응력 차이(100Pa 이상)도 볼 수 있습니다.