SAM 오토 라인

SAM Auto Line의 완전 자동화된 음향 현미경은 캐비티, 공극, 기포, 포함물 및 박리물의 비파괴 탐지를 가능하게 하며 웨이퍼 검사, 본드 인터페이스 검사, MEMS 검사 및 다양한 유형의 전자 패키지 검사에 이상적입니다.
자동 결함 검토 소프트웨어 패키지는 결함 유형에 대해 완전히 자동화된 평가를 수행합니다.
결과는 klarf 파일 및 VEGA MAP으로 발행할 수 있으며, GEM/SECS 또는 MES 연결을 사용할 수도 있습니다.

분석 대상 샘플에 따라 4x1, 4x2 또는 4x4와 같은 다양한 스캐너 구성을 사용할 수 있습니다. 또한 변환기는 4개 채널에서 최대 8개 채널까지 구성할 수 있습니다.

기계에 샘플 취급은 Open Cassettes, SMIF Loader, FOUP Loader, JEDEC Trays 또는 로딩 스테이션으로 개별화할 수 있습니다.