배치공정은 우선 진공에서 고온으로 클리닝 됩니다. 이 과정에서 휘발성 성분이 열로 배출됩니다. 후속 처리는 공정에서 염소와 불소가 효과적인 반응물로 사용될 수 있도록 할로겐화 가스를 사용하여 합니다. 일반적인 최대 공정 온도는 2,200°C이지만 별도 공정으로 2,400°C에 도달할 수 있습니다.
이러한 극한의 공정 조건은 최대한의 안전을 고려해야 하고, 또한 사용된 재료의 특성에 대한 정확한 지식을 필요로 합니다.
사용하는 소재 및 부품은 시스템의 오랜 서비스 수명을 보장하기 위해 반응성 대기를 신중히 고려하여 선택됩니다.
사용하는 공정 가스와 그 반응 생성물은 독일 TA Luft 공기 품질 규정과 같은 표준의 한계를 준수하도록 배기 가스의 후처리를 필요로 합니다. 이 후처리는 일반적으로 가스 스크러버에 의해 수행됩니다. 시스템에 맞게 조정된 배치 처리 시설은 전체 서비스 패키지에 포함되어 공급됩니다.
그라파이트 코팅 설비
그라파이트 성분을 코팅하기 위해 전구체(Precursors)가 반응 챔버에 투입되며 때로는 액체 형태에서 계량해야 합니다. 이러한 전구체는 반응 챔버에서 반응성 성분으로 분해되고, 이러한 성분은 시스템 분위기의 조건에서 기능성 코팅으로 처리재에 증착됩니다. 공정 온도는 일반적으로 최고 1,800°C에 이릅니다.
성공적인 코팅 공정을 위해서는 유효 공간의 온도 프로파일과 가스 흐름 및 공정 가스의 위치 종속 온도를 신중하게 고려해야 합니다.
사용된 공정 가스와 그 반응 생성물은 독일 TA Luft 공기 품질 규정과 같은 표준의 한계를 준수하도록 배기 가스의 후처리를 필요로 합니다. 이 후처리는 일반적으로 가스 스크러버에 의해 수행됩니다.
